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纯钨-0004

来源: maqiang 更新时间:2017-06-30 14:19:24 已经有9人关注
高纯钨及其硅化物可以在超大规模集成电路中作为电阻层、扩散阻挡层等以及在金属氧化物半导体型晶体管中作为门材料及连接材料等。